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高频科技：以科研创新驱动超纯水工艺突破，为半导体发展注入“芯 ...
超纯水在半导体制造中扮演着关键角色,晶圆清洗、蚀刻、光刻胶去除和CMP后清洗等步骤都离不开它的参与。因此,超纯水工艺的研发和应用能力 ...