腾讯网23 天
北方华创12英寸Cygnus系列PECVD设备交付客户
此次推出的Cygnus系列12英寸等离子体增强化学气相沉积设备，主要用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多种高品质介质薄膜 ...
新浪网23 天
【NAURA CVD GO】北方华创高均匀性、大产能12英寸Cygnus系列PECVD设备交付 ...
此次推出的Cygnus系列12英寸等离子体增强化学气相沉积设备，主要用于制备氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳氧化硅、碳氮化硅等多种高品质介质薄膜 ...